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    使用双针双管压力表:您需要知道的一切

    返回列表发布日期:2019-07-23 09:13:31    |    


          双针双管压力表可在不借助移动部件或阀门的情况下产生超高真空(UHV)。这使它们非常有效、安静且低维护。双针双管压力表需要隔离室内的大磁场,并使用高电压将电子吸入组件。压力表依赖于一系列电池内溅射吸气剂材料以及通过植入或埋藏所产生的离子。
          通过化学吸附(吸气)和物理吸附(离子)压力表送的气体分子现在永久地“束缚”并且不能“贡献”腔室内的压力。这个过程非常广泛和复杂,因此在本文中,我们将解释双针双管压力表的工作原理以及它们的使用方法。
    工作原则
          使用双针双管压力表,初始压力表用于去除大量气体,直到真空降至约10-4mbar或更低。在除去大量气体之后,然后通过元件组件施加高电压(在4,000和7,000伏之间)。这将“拉”电子进入圆柱形阳极管组件。通过位于真空室外部的永磁体(0.12 Telsa场强)将电子束缚成紧密的螺旋路径,从而形成等离子体放电。然后产生的离子轰击钛阴极板。然后可以通过植入(物理吸附)进行分子/气体离子的压力表送。轰击导致钛原子从阴极晶格溅射。这导致在溅射膜的周围表面上沉积。该薄膜通过吸气产生压力表送,即气体分子的化学吸附。
    功能原则
          双针双管压力表元件有三种类型:常规二极管(CV)、差分离子(DI或贵金属二极管)和三极管。每种类型都有其优点和缺点,如下所示:
    1、CV /二极管压力表
          CV /二极管离子压力表元件为反应气体提供最高的抽速,并具有出色的真空和电气稳定性。然而,它不能为稀有气体的压力表送提供长期稳定性。
    2、DI / Noble二极管
          DI / Noble二极管具有略低于CV /二极管离子压力表送速度,可确保稳定的惰性气体压力表,保持80%的CV抽速。也就是说,它确实使用价格较高的材料。
    3.三极管压力表
          三极管压力表元件是“网状”配置。它提供稳定的惰性气体压力表,保持80%的CV抽速和较高的启动压力。在不利方面,超高真空(UHV)压力表送速度降低,电气不稳定性普遍,并且制造成本更高。
    压力表之间有什么区别?
          传统压力表、差动压力表和三极管压力表之间的主要区别在于使用的阴极材料。在CV /二极管压力表的情况下,阴极材料由钛制成。钛阴极将与可通过化学吸附压力表送的可获得气体(例如N 2,O 2,H 2,CO,CO 2水蒸气和轻质烃)反应。非活性惰性气体主要通过离子注入压力表送,这就是CV /二极管压力表对惰性气体的压力表送速度显着降低的原因。
          对于二极管压力表,阴极材料由钽制成,而不是钛。钽是一种极硬,高原子质量的材料。因此,它将惰性气体离子反射为具有比钛高得多的能量的中性粒子。这在电极中提供了更高的注入深度和物理吸附(捕获)。
          最后,三极管的配置与CV和DI的不同之处在于环实际上接地,并且它使用负电压钛环作为阴极。阳极电位的集电板位于阴极后面。通常,压力表容器的内壁用作第三电极(处于接地电位)。结果,抽速和稳定性更高。但随着时间的推移,钛原子会积聚在这些环上,形成一些晶须并减少环和真空壁之间的空间,引起电气不稳定。
    应用和优势
          双针双管压力表工作在10 -5至10 -12 mbar范围内,常用于一般的特高压系统,如分子束外延(MBE),表面分析(如扫描隧道显微镜),其他表面分析仪器和高能物理,如对撞机和同步加速器。
    除了产生特高压以外,双针双管压力表还包括:
          —绝对不含烃,
          —可在高温下操作,
          —高度抗辐射/磁场,
          —没有活动部件(因此没有振动)。
          此外,由于不需要再生,因此维护成本低(使用阴极更换),并且(与许多真空压力表不同)可以在没有入口隔离阀的情况下使用。这些优点使得双针双管压力表非常适合于高精度设备。不幸的是,它们在压力表惰性气体方面可能很差,需要高压和磁场,并且需要涡轮分子或其他二级压力表来产生启动压力。相关产品推荐:雷达液位计、 电磁流量计、 金属管浮子流量计、 孔板流量计、 磁翻板液位计、 差压变送器、 磁翻板液位计厂家 电接点压力表 北京布莱迪、

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